Reproducibility in X-ray reflectometry: results from the first world-wide round-robin experiment
| Název česky | Reprodukovatelnost rtg reflektometrie: výsledky prvního celosvětového Round Robin experimentu |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2008 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | J. Appl. Crystallography |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://scripts.iucr.org/cgi-bin/paper?he5386 |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | x-ray reflectometry; round robin; layer structures |
| Popis | Rtg reflektometrie je velmi dobře zavedená technika pro kvantitativní vyhodnocování elektronové hustity, tloušťky a drsnosti tenkých vrstev. V této publikaci jsou prezentovány a diskutovány výsledky prvního celosvětového rtg round robin experimentu zahrnujícího 20 laboratoří. Round robin experiment byl proveden uvnitř rámcové spolupráce projektu VAMAS "Měření rtg reflektivity za účelem vyhodnocování tenkých vrstev a multivrstev", jehož cílem je vyrobit dobrý praktický manuál pro rtg reflektivitu. Reprodukovatelnost měření byla studována za použití různých zařízení. Ukázalo se, že vliv fitování experimentálních dat byl nezanedbatelný při porovnání s experimentálními faktory. Jako důležitý se ukazuje dynamický rozsah intensity pro získání dobrého, kvalitního měření. |
| Související projekty: |