Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Synchrotronová výpočetní laminografie pro 3D zobrazení plochých objektů s velkým rozlišením
Autoři	HELFEN L. MYAGOTIN A. RACK A. PERNOT P. MIKULÍK Petr DIMICHIEL M. BAUMBACH T.
Rok publikování	2007
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Physica stat.sol.(a)
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
www	http://sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#HelfenMyagotinRack-pss-2007
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	imaging; laminography; tomography; synchrotron radiation
Popis	Synchrotronová výpočetní laminografie (SRCL) byla vyvinuta jako metoda pro 3D zobrazování s vysokým rozlišením pro oblasti v laterálně velkých objektech, například elektronických mikrosystémech. Ve srovnání s počítačovou tomografií (CT) využívá SRCL nakloněné osy rotace vzhledem k dopadajícímu záření. Potenciál metody je demonstrován na příkladech studia kontaktovaných elektronických čipů.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur