Thermoionic vacuum arc (TVA) deposited tungsten thin film characterization

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Charakterizace wolframových tenkých vrstev deponovaných termoionický vakuovým obloukem (TVA)
Autoři	VLADOIU R. CIUPINA V. LUNGU C.P. BURŠÍKOVÁ Vilma MUSA G.
Rok publikování	2006
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Journal of Optoelectronics and Advanced Materials
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Thermoionic vacuum arc (TVA); tungsten; thin film; characterization
Popis	Charakterizace wolframových tenkých vrstev deponovaných termoionický vakuovým obloukem (TVA)
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek