Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu
Autoři

ZŮDA Jaroslav BURŠÍKOVÁ Vilma ČECH Jan SŤAHEL Pavel

Rok publikování 2005
Druh Článek ve sborníku
Konference JUNIORMAT'05
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Thermal stability; diamond like carbon; thin films; plasma enhanced chemical vapor deposition
Popis V této práci byla studována termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.