Technologie pro měření rychlosti růstu vrstvy a ionizace rozprášeného kovu při depozici s velmi vysokým výkonem

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2024
Druh	Poloprovoz, technologie, odrůda, plemeno
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Popis	Navržená technologie ukazuje, že funguje spolehlivě a umožňuje úspěšně měřit depoziční rychlost i tok atomů a tok iontů rozprášeného kovu ve stejnosměrném magnetronovém naprašování při aplikaci velmi vysokých výkonů.
Související projekty:	R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications