Characterization of Composite Carbon Nitride Films Prepared by the Inductively Coupled RF Plasma
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 1999 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Proceedings of 14th International Symposium on Plasma Chemistry |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Popis | Characterization of Composite Carbon Nitride Films Prepared by the Inductively Coupled RF Plasma |
| Související projekty: |