WIDE-PRESSURE-RANGE COPLANAR DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE FOR HYDROCARBON CONTAMINATION REMOVAL IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

DUGÁČEK Ján SŤAHEL Pavel ČECH Jan JURMANOVÁ Jana

Rok publikování 2016
Druh Článek ve sborníku
Konference Hakone XV: International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistrywith joint COST TD1208 workshop Non-Equilibrium Plasmas with Liquids for Water and Surface Treatment. Book of Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/836
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova plasma; discharge; WPR-CDBD; decontamination
Popis Čištění vakuových komor pomocí nízkoteplotního plazmatu-WPR-CDBD
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.